Te Whakakikoruatanga Ka pupuhi ana nga matūriki kaha-nui ki te mata totoka, ka taea e nga matūriki i runga i te mata totoka te whai kaha me te mawhiti mai i te mata ka waiho ki runga i te tïpako.I te tau 1870 ka tiimata te whakamahi i te ahua o te Sputtering i roto i te hangarau whakakikorua, a ka whakamahia haeretia i roto i nga mahi ahumahi i muri mai i te tau 1930 na te pikinga o te reiti waipara.Ko nga taputapu pupuhi rua-pou e whakamahia nuitia ana e whakaatuhia ana i te Whakaahua 3 [Whakaahua hoahoa mo te rua o nga pou paninga korehau.I te nuinga o te wa ka mahia nga mea hei whakatakoto ki te pereti-he whaainga, ka mau ki te cathode.Ka whakanohoia te tïpako ki runga i te anode e anga atu ana ki te mata i whäia, he torutoru henimita te tawhiti atu i te whainga.I muri i te pupuhi o te punaha ki te waahi teitei, ka whakakiia ki te 10 ~ 1 Pa hau (te nuinga o te argon), a ka whakamahia te ngaohiko o te maha mano volts i waenga i te cathode me te anode, a ka puta he rerenga hiko i waenga i nga hiko e rua. .Ko nga katote pai ka puta mai i te tukunga ka rere ki te cathode i raro i te mahi a te papa hiko, ka tukituki ki nga ngota kei runga i te mata i whaaia.Ko nga ngota whainga ka mawhiti mai i te mata i whaaia na te tukinga ka kiia ko te ngota ngota, a ko to ratou kaha kei te awhe o te 1 ki te tekau o nga hiko hiko.Ko nga ngota kua pakaru ka waiho ki runga i te mata o te tïpako hei hanga kiriata.Kaore i rite ki te paninga whakaetonga, karekau i te whakawhäitihia te whakakikorua o te rewa o te rauemi kiriata, a ka taea e ia te pupuhi i nga matū aukati penei i te W, Ta, C, Mo, WC, TiC, me etahi atu. tikanga, ara, te hau reactive (O, N, HS, CH, etc.) is
ka tapirihia ki te hau Ar, ka tauhohe te hau reactive me ona katote ki te ngota taunga, ki te ngota kapohia ranei hei hanga i tetahi puhui (pērā i te waikura, hauota) Pūhui, me ētahi atu) ka waiho ki runga i te tïpako.Ka taea te whakamahi i tetahi tikanga pupuhi-nui ki te whakatakoto i te kiriata whakamaarama.Ka mau te tïpako ki runga i te hiko o te whenua, a, ko te taumata whakamarumaru ka mau ki runga i te taha hiko.Ko tetahi pito o te toha hiko tere-nui ka noho ki te whenua, ka honoa tetahi pito ki te hikohiko kua oti te whai i te taumata whakamarumaru na roto i te whatunga taurite me te puritanga aukati DC.I muri i te huri i te hiko hiko teitei, ka huri tonu te ngaohiko teitei i tona polarity.Ko nga irahiko me nga katote pai i roto i te plasma ka pa ki te taumata whakamarumaru i te wa o te haurua pai me te haurua kino o te ngaohiko.I te mea he teitei ake te neke irahiko i tera o nga katote pai, he kino te utunga o te mata o te taumata whakamarumaru.Ka eke ki te taurite hihiko, kei te piro toraro te taumata, kia mau tonu ai nga katote pai e pupuhi ana i runga i te whaainga.Ka taea e te whakamahi i te pupuhi magnetron te whakanui ake i te reiti waipara ma te tata ki te raupapa o te rahi ka whakatauritea ki te pupuhi kore-magnetron.
Wā tuku: Hūrae-31-2021